CRF plasma 等离子清洗机

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诚峰小型crf等离子清洗机3个方面的使用方法

一、诚峰小型crf等离子清洗机使用操作流程
1.进入“主机界面”,点击“下一页”进入“功能画面”选择“参数页面”修改清洗时间或清(除)清洗数据。
2.点击“下一页”进入“手动页面”将氧气氩气阀门设置为打开状态,返回主机界面。
3.诚峰小型crf等离子清洗机调节功率,功率调节范围80%-100%,根据实验需求进行调节。
4.诚峰小型crf等离子清洗机将被处理物放置等离子清洗机真空腔内,关好腔门,按下启动按钮,开始抽真空。
5.待腔体产生辉光,根据实验需求,手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。
6.到达处理时间后,平衡阀自动复原,3秒左右恢复常压,无进气声响时,腔门自动打开。
7.打开腔门,取出被处理物,一个处理过程结束。
温馨提示:以上各命令都可在键下终止,回到复位状态。所有数字量都可自由调整,确认键后记忆保存,断电不丢。

等离子清洗机

二、诚峰小型crf等离子清洗机手动状态下运行处理的方法:
1.crf等离子清洗机调节功率,功率调节范围80%-100%,根据实验需求进行调节。
2.将被处理物体放置到仓内,关好仓门,按下启动钮,开始抽真空。
3.真空度达到要求时,按下射频电源钮(打开状态为:黄色灯亮“开”),加入射频高压,处理过程开始。
4.待腔体产生辉光,根据实验需求,打开氧气氩气阀门开关(打开状态为:黄色灯亮“开”),手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。
5.到达处理时间后,复原平衡阀钮,3秒左右恢复常压,无进气声响时,腔门自动打开。
6.打开腔门,取出被处理物,一个处理过程结束。
温馨提示:在手动状态下,可设定氧气阀、氩气阀、真空泵、射频电源、平衡阀的开关选择,进行数据工作。
三、诚峰小型crf等离子清洗机使用气体时需注意的事项:
1.crf等离子清洗机在触摸屏的手动画面打开气阀;
2.诚峰小型crf等离子清洗机腔内激发辉光后,再扭开流量计注入;
3.两路气体,机体前面板上的流量计与机体背面的气孔口为对应一致接入工作。

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