CRF plasma 等离子清洗机

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  • 等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺

    在IC芯片制造领域中,等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺,不论在芯片源离子的注入,还是晶元的镀膜,亦或是我们的低温等离子体表面处理设备所能达到的:在晶元表面去除氧化膜、有(机)物、去掩膜等超净化处理及表面活(化)提高晶元表面浸润性。

    等离子体处理

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诚峰智造——专注等离子研发20年