在真空室引入等离子体刻蚀机时，气体要保持腔内压强稳定：
        将等离子体刻蚀机中引入真空，将气体导入真空室，保持腔内压力稳定。依据清洁材料的不同，可采用氧、氩、氢、氮、氟等多种气体分贝。将高频率电压置于真空室的电极与接地装置之间，使气体被击穿，并经电弧放电后形成等离子化，形成等离子体。使被处理工件在真空室内所形成的等离子体完全覆盖并开始清洗操作，一般的清洗处理可持续数十秒至数十分钟。清洁结束后，断开电源，用真空泵吸气及气化污垢排出。

        等离子体刻蚀机的另一项功能是清洗完毕后，其表面已经完全干透。对物体表面进行化学刻蚀处理后，往往会形成许多新的活性基团，使物体表面发生“活(化)”并改变其性能，可极大地提高物体表面的渗透性和粘附性，这对于很多材料来说非常重要。所以等离子体清洗具有很多用溶剂进行的湿式清洗无法比拟的优点。相对于湿法清洗而言，等离子体刻蚀机的优点主要有以下几点：
       经等离子体刻蚀机清洗后，被清洁的物体已非常干燥，无需再次进行干燥处理即可送到下道工序。无三氯乙烷等有害污染物，是一种有利于环境保护的绿色清洁方式，使用电磁波范畴高频率形成的等离子体有别于激光等直射光线，其指向性不强，因而能深入到物体内部，完成清理工作，从而完成清理工作，因此，无需过分考虑被清洁物体形状的影响。清洁效果(果)对于这些难洗部位的清洁效果较好，与氟利昂清洁的效(果)相当。该清洗流程可在数分钟内完成，具有较高的产率。