等离子清洗技术在TO导电玻璃上的应用,在更畅通的5G时代，平板显示器成为我们接收信息的一个重要视觉窗口。ITO导电玻璃作为平板显示器唯一的透明导电电极材料，在液晶电视、笔记本电脑、平板电脑、智能手机、数码相机、数码摄像机等电子商品的生产制造中发挥其他材料不可替代的作用。

       ITO导电玻璃，是一种既透明又导电的玻璃，采用磁控溅射沉积成膜技术，以氧化铟锡（俗称ITO）材料作为溅射靶材，在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。玻璃基板具有重量轻、透明度高、平整度高、机械硬度好、易切割加工等特点，同时具有良好的导电性和透光性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。广泛应用于手机屏、PDA、计算器、电子手表、电磁屏蔽、光催化、太阳能电池、生物实验、各大高校实验室等新型科技领域。
目前ITO导电玻璃精密表面处理的方法有等离子清洗技术、抛光处理、酸碱处理、氧化剂处理以及在ITO表面增加有机和无机化合物。等离子清洗技术被认为是最有效的处理方式——兼表面平整、清洗有机物和表面活化等功效，降低平均粗糙度，增加表面极性度，提高功函数。
        由于ITO可直接与有机薄膜接触，所以使得ITO的表面特性如表面有机污染物含量、面电阻、表面粗糙度和功函数等对整个器件性能起着重要作用，改变ITO的表面特性便可影响OLED的性能。等离子清洗技术的作用通常是改变表面粗糙度和提高功函数，利用等离子体可对ITO玻璃表面进行活性处理。
        等离子清洗技术通常在等离子处理设备上，将基片放在底座上，在真空系统中通入不同的混合气体，并在金属电极上家射频电压将气体电离，形成等离子体, 以非常快的速度轰击ITO基片粗糙微小凸起，并清洗表面吸附的环境气体、水汽、污物， 使表面清洁、活化。
       从等离子体处理后的ITO表面形貌分析发现，ITO表面的平均粗糙度和峰谷粗糙度有明显降低，使薄膜表面变得更加平坦。ITO膜与NPB之间的界面能减少，空穴注人能力大大增强。表面富集了一层带负电的氧，形成界面偶极层，增加了ITO表面功函数。同时，表面颗粒半径大大降低，使得ITO与有机层的接触面增大，表面吸附力增大使ITO薄膜表面的润湿性能和氧原子吸附性能得到改善，有利于获得更加均匀的有机薄膜。总而言之，等离子清洗技术后的阳极制备的器件亮度高，质量好，利于增加发光器件的寿命和稳定性。