半导体包装行业，包括集成电路、分离器件、传感器和光电子包装，经常使用金属引线框架。为了提高结合和塑料密封的可靠性，金属支架通过等离子清洗机处理几分钟，以去除表面的有机物和污染物，增加其可焊性和粘接性。此外，有时人们会发现金属支架在等离子清洗机的真空环境中处理不当，容易变色、变黑、严重甚至烧板。是因为腔内空气不干净，残余空气中的氧分子被激发，氧等离子体与金属表面发生化学反应面发生化学反应化吗？原因会是这样吗？
等离子清洗机真空度对产品清洗和变色效果的影响：

     影响等离子清洗机真空度的因素有：真空腔漏率、回真空、真空泵速度、工艺气体进口流量。速度较快的真空，表明背压值较低，说明在内部的空气较少，铜支架与空气中氧等离子体反应的机会较少；当工艺气体进入时，所形成的等离子体可与铜支架充分反应，无刺激性的工艺气体可带走反应物，铜支架清洗效果好，不易变色。
等离子清洗机功率对产品的清洗效果和色差的影响。
       电浆清洗机电源功率与其功率密度有关。电源功率越大，等离子体能量越高，对产品表面的冲击力越强；同等功率下，处理的产品数量越少，单位功率密度越大，清洗效果越好，但可能会导致能量过大、板面变色或烧板。
       等离子清洗机电场分布对产品清洗效果和变色的影响。电极结构、气流和金属制品的放置位置等与电场分布有关的因素有关。根据处理材料、技术需求、生产能力要求，电极结构的设计不同的气体流向形成气场，影响等离子体的运动、反应、均匀性的产品配置位置影响电场和气场特性，能量分配不均衡，局部等离子体密度过大烧板。
        除上述因素外，实践证明，等离子清洗机的处理时间、电源频率、载具类型等都会影响产品的处理效果和变色。