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等离子表面处理作用OLED显示板起到清洗、溅射和微蚀刻的成效

等离子表面处理作用OLED显示板起到清洗、溅射和微蚀刻的成效:
       近年来,OLED已成为国内外非常受欢迎的新兴平板显示产品,这是因为OLED显示设备有着自发光、色域广、视角广、反应时间短、发光效率高、工作电压低、面板薄(厚度小于1mm,可制作大尺寸可燃曲面板,制作简单,成本低,被称为世纪明星平板显示产品,与其它显示技术相比有着很大的优势。随着各种技术的突破和加工技术的成熟,它将迎来快速发展。

等离子表面处理

        等离子表面处理机主要用于OLED显示器件生产过程中有机污染的清洗处理。plasma与材料表面的相互作用可产生3种基本现象:清洗、溅射和微蚀刻。基于这三种现象,可以去除材料和设备表面的污染,并在表面产生有着活化性能的悬挂按钮,以提升表面活性。加热主要是由电子和离子对材料表面的轰击和等离子体的管辖权引起的。加热效应可以去除物理吸附或松散的污染。物理溅射是最常见的清洁方法。表面上的所有原子都可以去除,溅射过程中没有选择性,清洗可能伴随着表面材料原子的去除,或者清洗结束时残留有机分子。等离子表面处理溅射率取决于材料的表面性质和污染物的类型。蜡烛雕刻等离子表面处理是原子或自由基与表面污染分子发生化学反应的过程。其反应产物通常具有一定挥发性,很容易从材料表面分离。

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