为了提高太阳能电池盖板玻璃的透过率和自清洁性能, 采用电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀与金属颗粒掩膜结合的方法刻蚀硼硅酸盐玻璃,采用扫描电镜(SEM)对刻蚀后玻璃表面形貌进行了观察,采用分光光度计测量了刻蚀前后玻璃透过率变化,并用接触角仪测定了刻蚀前后玻璃表面润湿性变化.

        结果表明:经过ECR等离子体刻蚀后,在玻璃表面形成多山峰状纳米结构,平均尺寸约在80~140nm,并有效提高了玻璃的可见光透过率，尤其是在有偏压刻蚀后透过率由原来91%提高到94.4%,同时,玻璃表面亲水性增强,接触角θ,由原来的47.2°变为7.4°,自清洁性能得到提高。对于太阳能电池上的盖板玻璃,其透过率直接影响太阳能电池的发电效率，但玻璃表面存在反射从而造成光能损失.
       太阳能电池的长期露天放置,表面粉尘污染物的覆盖会严重影响透光效率因此，兼具有减反射和自清洁性能的表面越来越受到关注，国内外大多采用在玻璃表面制备减反射涂层来实现玻璃减反，这种减反射涂层是通过物理或者化学方法制备而成的单层薄膜或多层薄膜，它的作用原理是控制薄膜厚度约为入射光波长的1/4,从而使得该波长人射光在界面处发生干涉来实现减反;或是通过涂层的制备实现了空气到玻璃折射率的渐变,从而实现减反.但是这种方法存在很多缺陷,例如:在自然环境中可靠性和耐久性差、热力学稳定性差、附着力差、对厚度变化敏感以及只对狭窄波长和角度有效等.
1)通过金属镍纳米颗粒保护,再经过ECR等离子体刻蚀后,可以在平滑的玻璃表面制备出山峰状结构，且分布均匀,尺寸约在80 ~ 140nm.
2)经过ECR等离子体刻蚀后制备出的山峰状结构,能有效提高可见光的透过率，尤其在有偏压条件下,刻蚀后最高透过率可达94. 4%.
3)刻蚀产生的表面山峰状纳米结构进一步增强表面的润湿特性，硼硅玻璃在刻蚀前润湿角为47.2°,刻蚀后润湿角变为7.4°,润湿性明显提高，从而具有了一定的防雾和自清洁性能.