等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺-等离子IC半导体业

等离子解决方案: 等离子汽车制造业; 等离子电子数码制造业; 等离子医疗行业; 等离子织物印染业; 等离子重工业; 等离子半导体封装业; 等离子新能源业; 等离子IC半导体业; 等离子PCB领域; 等离子屏幕组装

产品中心: 等离子表面处理机; 等离子清洗机; 等离子处理机; 等离子电源; 等离子喷枪; 等离子活化

plasma等离子处理系统


plasma等离子处理系统

联系我们: 13632675935

等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺

在IC芯片制造领域中，等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺，不论在芯片源离子的注入，还是晶元的镀膜，亦或是我们的低温等离子体表面处理设备所能达到的：在晶元表面去除氧化膜、有(机)物、去掩膜等超净化处理及表面活(化)提高晶元表面浸润性。

等离子体处理

等离子体应用包括用于晶圆级封装的等离子体晶圆清洗、焊前芯片载体等离子体清洗、封装和倒装芯片填充。微波平面等离子体系统是专为大基板的均匀处理而设计的，可扩展到更大的面板尺寸。引进300毫米晶圆对裸晶圆供应商提出了新的更高的标准要求：通过将直径从200毫米增加到300毫米，晶圆的表面积和重量增加了一倍多，但厚度却保持不变。这大大增加了破碎险。300毫米晶圆具有高水平的内部机械张力（应力），这大大增加了集成电路制造过程中的断裂概率。这有明(显)的代价高昂的后果。因此，应力晶圆的早期检(测)和断裂预防近年来受到越来越多的关注。此外，晶圆应力对硅晶格特性也有负面影响。sird是晶圆级的应力成像系统，对降(低)成本和提高成品率做出了重大贡献。

日期：2021年05月07日

支持材料测试、提供设备试机

诚峰智造首页

plasma清洗机

产品中心

等离子解决方案

新闻动态

关于诚峰智造

plasma等离子处理系统

plasma等离子处理系统

等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺

常压等离子电源

USC干式超声波除尘设备

微波等离子清洗机

自动On-Line式AP等离子活化设备

真空等离子活化机

全自动等离子活化设备

诚峰智造——专注等离子研发20年

支持材料 测试、提供设备 试机

诚峰智造首页

plasma清洗机

产品中心

等离子解决方案

新闻动态

关于诚峰智造

plasma等离子处理系统

plasma等离子处理系统

等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺

常压等离子电源

USC干式超声波除尘设备

微波等离子清洗机

自动On-Line式AP等离子活化设备

真空等离子活化机

全自动等离子活化设备

诚峰智造——专注等离子研发20年

支持材料测试、提供设备试机