—:等离子清洗机的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用"”"达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面﹔被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子﹔产物分子解析形成气相﹔反应残余物脱离表面。

等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型﹐均可进行处理，对金属﹑半导体氧化物和大多数高分子村料，如聚丙烯﹑聚脂﹑聚酰亚胺﹑聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及夏杂结构的清洗。 

二:等离子清洗机的优点:

1、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的,不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以整个工艺流水线的处理效率;

2、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害﹐同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;

3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性﹔

4、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果像是甚至更好;

5、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点﹔

6、等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；

7、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储﹑排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生;

8、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体﹑氧化物,还是高分子材料：如聚丙烯﹑聚氯乙烯﹑聚四氟乙烯、聚酰亚胺﹑聚、环氧树脂等高聚物都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的村质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗﹔

9、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能·如提高表面的润湿性能﹑改善膜的黏着力等,这在许多应用中都是非常重要的。