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PDMS其具有硅橡胶的诸多特征。如无色、透明度好、粘度范围广、耐高低温、耐辐射、表面张力低、压缩比高、绝缘性高、疏水性高、光泽度高、材料惰性、化学生理惰性等。它还具有很强的吸附性，易于吸附蛋白质和疏水分子。这将导致PDMS成分损失和表面性质的变化。其导热性低，焦耳热不易丢失，对非极性物质吸附能力强，易受环境污染，特别是表面固有的高疏水性，极大地限制了微流控芯片的实用性。PDMS交联和固化通过预聚物的聚合。PDMS小分子预聚物仍然很多，很难将水溶液引入PDMS通过自身的毛细管力很难引入微通道。自然疏水是PDMS最明显的特征。
plasma等离子处理PDMS微流控，一般来说，用plasma等离子处理材料的表面会氧化或交联。空气，CO其它气体会被氧化PDMS聚合物表面产生含氧基团，惰性气体产生含氧基团PDMS表面产生自由基点，激活聚合物表面。
当等离子体作用于固体表面时，会发生蚀刻，即去除暴露的表面物质和原表面污染物产生的挥发性气体物质，固体表面变得粗糙，形成许多小凹凸，增加样品的比表面积，PDMS大部分键能为0~10eV，等离子体中的粒子能量为0~20eV。因此，等离子体暴露在固体表面后，材料表面的化学键被足够的能量打断，产生自由基，形成网状交联结构，得到加强PDMS表面活动。如果引入反应性气体，等离子体激活的物质表面与反应性气体之间会发生一些复杂的化学反应，产生氨基、烃基、羧基等新的活性基团，对材料的表面活性有显著影响。在
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