CRF plasma 等离子清洗机

支持材料 测试、提供设备 试机

20年专注等离子清洗机研发生产厂家

咨询热线
13632675935

等离子喷枪气体的选择和处理的材料范围

等离子喷枪气体的选择和处理的材料范围:
       相同配置的设备,氧气等离子喷枪处理比氮气等离子体处理效果更好。若需进行蚀刻,及其蚀刻后需要清除污垢,浮渣,表面处理,等离子聚合,等离子灰化或任何其他蚀刻应用,我们可以按照客户的要求,生产出安全可靠的等离子蚀刻机技术。我公司兼具传统的等离子型蚀刻系统和反应型离子型蚀刻系统,可以生产系列产品,也可以为客户定制专用系统。我们可以提供快速/高质量蚀刻,提供所需的均匀度。

等离子喷枪

       随着处理时间的延长,薄膜表面接触角减小,但在一定时间内,接触角几乎没有变化。等离子体处理可用于各种基底,复杂的几何构形也可进行等离子喷枪活化,清洗,镀膜等。等离子处理的热负荷和机械负荷较低,因此,低压等离子也能处理敏感材料。
以上结果说明,利用等离子喷枪表面处理PTFE粘性较好,需要不断地调整各处理参数以获得良好的处理工艺,CRF等离子喷枪操作简单,可设定多个实验参数,同时也可储存多种工艺参数,这对探寻工艺参数很有帮助。
        等离子喷枪技术的典型应用是:半导体/集成电路;氮化镓;氮化铝/氮化镓;砷化镓/砷化铝镓;砷化镓;磷化铟、镓/铟镓化物(InPInGaAs/InAlAs);硅;硅锗;硅化硅陶瓷(Si3N4);硅的溴化氢;硒化锌(ZnSe);铝;铬;铂;钼;铌;铟;钨;铟锡氧化物;铟钛酸铅;塑料/高分子材料;聚四氟乙烯(PTFE);聚甲醛(POM);聚苯并咪唑(PBI);聚醚醚酮(PEEK);聚酰胺(PFA);聚酰胺(PFA);聚酰胺等。

相关等离子产品
等离子新闻


线

诚峰智造——专注等离子研发20年