纯乙烷在CRF等离子体表面处理仪在低温常压下作用下可发生脱氢反应：
       在大气压脉冲CRF等离子体表面处理仪电晕条件下，C2H6转化率和C2H2收率随能量密度增加而不断增加，C2H4收率略有增加，而 CH4收率随等离子体能量密度的增加变化不大。当等离子体能量密度为860kJ/mol 时，C2H6转化率为23.2%，C2H4和C2H2收率之和为11.6%。一般认为在流动式等离子体反应器中，当反应气体流速一定时，体系中高能电子密度及其平均能量主要决定于等离子体能量密度。等离子体功率增加，体系内高能电子密度及其平均能量增大，高能电子与C2H6分子的弹性和非弹性碰撞概率及所传递能量增加， C2H6的C-H键及C-C键断裂可能性增大，其断裂所形成的自由基浓度亦随之增大，自由基复合形成产物的概率随之增大。因此C2H6转化率及C2H2收率随着CRF等离子体表面处理仪功率增加呈上升趋势。C2H4收率和CH4收率随等离子体注入功率的增加上升趋势不明显可能与C2H4和CH4是反应的初级反应产物，并且C2H2稳定性较高有关。

化学键 解离能/（kJ/mol) 解离能/（eV/mol)
CH3—CH3 367.8 3.8
C2H5—H 409.6 4.2
CH2=CH2 681.3 7.1
C2H3—H 434.7 4.5
CH≡CH 964.9 10.0
C2H—H 501.7 5.2
        纯C2H6在CRF等离子体表面处理仪条件下转化反应的主要气相产物是：C2H4、C2H2、H2和 CH4，固体产物是积碳。