CRF plasma 等离子清洗机

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crf电浆清洗机刻蚀PTFE粗糙度效果好

crf电浆清洗机刻蚀PTFE粗糙度效果好:
        crf电浆清洗机运行的功率并不是大就好,在较低功率下,处理的薄膜剪切强度随之功率的增加而增加,达到峰值后强度逐渐下降。感应耦合等离子体蚀刻方式(ICPE)是化学过程和物理过程的综合结果。它的基本原理是:在低压下,由ICP射频电源向环形耦合线圈输出,通过耦合辉光放电,混合刻蚀气体通过耦合辉光放电,形成高密度的等离子体,在下电极RF作用下,在基片表面跃迁,基片图形区域内的半导体材料的化学键被打断,与刻蚀气体形成挥发性物质,将气体从基片中分离出来,抽离真空管。

电浆清洗机

       同样条件下,O2等离子体处理比N2气等离子体处理效果更好。如果需要进行蚀刻,以及蚀刻后需要清除污垢,浮渣,表面处理,等离子聚合,等离子灰化或任何其他蚀刻应用,我们可以按照客户的要求,生产出安全可靠的等离子蚀刻机工艺。我公司兼具传统的等离子型蚀刻系统和反应型离子型蚀刻系统,可以生产系列产品,也可以为客户定制专用系统。我们可以提供快速/高质量蚀刻,提供所需的均匀度。
       随之处理时间的延长,薄膜表面接触角减小,但在一定时间内,接触角几乎没有变化。等离子体处理可用于各种基底,复杂的几何构形也可进行活化,清洗和镀膜等。plasma处理的热负荷和机械负荷较低,因此,低压等离子也能处理敏感材料。
        以上结果说明,利用crf电浆清洗机表面处理PTFE粘性较好,需要不断地调整各处理参数以获得良好的处理工艺,crf电浆清洗机操作简单,可设定多个实验参数,同时也可储存多种工艺参数,这对探寻工艺参数很有帮助。
crf电浆清洗机蚀刻机工艺的典型应用是:半导体/集成电路;氮化镓;氮化铝/氮化镓;砷化镓/砷化铝镓;砷化镓;磷化铟、镓/铟镓化物(InPInGaAs/InAlAs);硅;硅锗;硅化硅陶瓷(Si3N4);硅的溴化氢;硒化锌(ZnSe);铝;铬;铂;钼;铌;铟;钨;铟锡氧化物;铟钛酸铅;塑料/高分子材料;聚四氟乙烯(PTFE);聚甲醛(POM);聚苯并咪唑(PBI);聚醚醚酮(PEEK);聚酰胺(PFA);聚酰胺(PFA);聚酰胺等。

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