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20年专注等离子清洗机研发生产厂家
在半导体以及电路板领域目前微波等离子设备也普遍流行？
科技的发展，时代的日新月异，半导体IC对工艺和包装的精度要求也有所提高。半导体芯片制造过程中残留的光刻胶会明显影响芯片生产过程中等相关生产质量，从而减少芯片的可靠性和产品合格率。射频等离子体技术不能满足高精度脱胶的需要，容易造成芯片损坏。利用大英国内首创的微波等离子体技术，相结合射频偏置压力技术，能够完全去除芯片表面的残余物，进而显著提升可生产制造性、可靠性和成品率。微波等离子设备是什么？
当气体受到足够的能量时，它会离子化为等离子体，如电子、原子、原子群、自由基群等。比较常见的等离子体电源主要有三种刺激频率，刺激频率为40kHz超声等离子体电源，13.56MHZ射频等离子体电源，2.45GHZ等离子体是微波等离子体的电源。微波等离子设备是一类微波等离子体。
微波等离子设备清洗技术已广泛应用于国外许多领域，已成为许多精密制造业的必备设备。微波等离子体清洗设备主要是美国和德国的制造商。在国内，微波等离子设备清洗技术及设备的研究尚处于起步阶段。该方法融合了等离子物理、化学和气固相界面的化学反应，跨各种领域，包括化工、材料、能源以及宇宙等，因此将极具挑战性，也充满机会。鉴于未来半导体和光电材料的快速增长，这方面的应用需求将特别大。
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