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低温plasma的表面改性是固体和气体之间的直接反应：
低温plasma的原理是将空气分子通常电离析为离子、电子和微小的粒子，然后通过这些微小的粒子不断地对材料表面进行轰炸，以提高材料表面的亲水性。目前，电子、医疗、航空航天、印染等行业都采用了低温plasma技术。
使用射频电源的低温等离子体或某人称为冷等离子体。其特点是能量密度高，但柔软，温度相对较低。使用时的温度与正常天气相同，不会对材料表面造成高温损坏。在改性材料表面的过程中，等离子不仅能与材料表面产品发生物理反应，还能与材料表面发生化学反应。
低温plasma技术具有工艺简单、操作方便、成本低、对材料无损伤、加工速度快、处理效果好、环境污染小、节能等优点。近年来，它发展迅速，取代了许多传统的材料表面处理方案。特别是精密电子和电气行业，得到了非常广泛的应用。
低温plasma的表面改性是固体和气体之间的直接反应。这是一种干洗过程。清洗后的材料可以直接使用，不仅可以大大提高工作效率，而且可以大大节约水资源、节能环保，减少化学溶剂的使用和废物处理。同时，该技术具有反应速度快、作用时间短、物理力学性能损失小、改性效果多、应用前景广阔等优点。
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