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等离子清洗机不放电或者放电不稳定，往往是等离子发生器的阻抗匹配出了状况。等离子发生器在进行能量传输时，假如反应腔体和电极（以下简称负载）阻抗和传输线的特征阻抗不相等，就会在传输时发生反射，有部分能量通过发热等方式损失掉了，而不是所有能量都被等离子清洗机的负载吸收，这样就会直接影响等离子表面处理的效果。
在高频放电回路中，为了保证用于放电区的功率消耗保护振荡器，常规的做法就是在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络，以便按不同放电条件进行调节，使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗能够匹配，让等离子清洗机放电稳定，工作效率高。
影响等离子清洗机匹配效果的几个主要因素
等离子清洗机的匹配器，就好比是等离子发生器的伴侣，两者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去适应大功率的等离子发生器，除此之外，要想等离子清洗机取得理想的匹配效果，还需注意以下几个方面。
1.在设计等离子清洗机的反应腔体和电极的时候，要与匹配器供应商充分沟通相关技术参数，以满足等离子清洗机的匹配要求；
2.等离子清洗机在安装匹配器的时候，应尽量靠近反应腔体和电极，缩短连线，减少功率损耗；
3.气体流量、真空度、处理的产品材质和数量等因素都可能影响阻抗匹配，需根据实际情况做调整。
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