1、plasma放空气体压力过低
可能原因：请检验汽体是不是打开或汽体是不是耗尽
解决措施：如出現该类警报请检验内腔底端的破真空常用气路电磁阀是不是正常情况下工作，路线有无断路或短路。
2、plasmaCDA压差过低警报（破空气体压力低）
可能原因：此警报为压缩空气气压不足够警报，主要出現于配有高真空气动挡板阀（GDQ）的机器设备，出現此警报时需检验CDA是不是正常情况下气路致机器设备端。
解决措施：核对气路压差是不是过高或过低，减压表的警报值是不是设定正确。
检验电气路线是不是出現断路或短路。

3、plasma不发光
可能原因：1.机械泵是不是正常情况下运转；2.射频电源主板芯片烧毁；
处理措施：1.机械泵是不是正常情况下工作，查看真空压力表值是不是达到正常情况下压差值；如不能达到正常情况下压强，则代表气路有漏气需重新检验气路是不是固定好。
4.plasma打开机器设备右侧面板，检验射频电源主板芯片绿色灯在机器设备正常情况下运转下是不是亮，如果不亮，请联系东信高科售后人员进行替换。
4、plasma机械泵不工作
可能原因：1.真空泵油不足；2.电机烧毁；3.机械泵磨损
处理措施：1.清洗后，添加真空泵油；2.请联系我公司客服
5、plasma清洗效(果)异常
可能原因：1.等离子功率不够；2.选用不适合的反应汽体
解决措施：1.调节功率旋钮，提高功率；2.工艺汽体是不是匹配合理；3.咨询我公司客服；
6、plasma机械泵热过压保护，请检验路线和机械泵常见故障。
可能原因：出現此情况请首先观察系统参数有无变化，机器设备突然断电会引起系统参数清零，导致机器设备出現该类警报。
解决措施：如系统参数无变化，请核对热继电器是不是自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。若不进行自动保护，请检查电气线路是否发生断路或短路。检查导线是否断路或短路。如果没有以上异常，请检查机械泵。
7、plasma机械泵倒计(时)常见故障（机械故障），请检验机械泵時间工作能力，常见故障消除点一下复位键。
可能原因：所处理产品有严重渗气情况，真空倒(计)时時间机器设备较短，没法在机器设备時间内抽到背底真空。
解决措施：检验真空门是不是关到位，逐级检验真空系统中各连接点，看是不是有管道衔接异常或毁坏，机械泵常见故障，需检验保养机械泵。
8、plasma真空计常见故障警报
可能原因：真空计常见故障或毁坏，请检验并替换真空计。
解决措施：检验真空计是不是毁坏，检验真空计操纵路线是不是有断路或短路。
9.plasma急停未复位或已按住，请打开急停按钮
解决措施：检验急停是不是被按住，如没有此情况，请检验急停路线。