plasma表面处理设备在国内也被称之为plasma设备，是21世纪工业上的新设备，利用活性成分的性质处理样品表面，达到清洁的目的，除了具有清洁的作用外，还可以进行活化和腐蚀等，广泛应用于各个领域以下是plasma表面处理设备的工作流程和注意事项。
       plasma表面处理设备中的等离子体基本是在特定的真空度条件下、电离等特定场所产生的，如低压气体的光辉等离子体。简而言之，plasma表面处理设备的清洁须要在真空度状态下(通常要保持在100帕上下)，因此须要真空泵来进行抽真空操作。其基本环节是将须要清洁的部件送进真空室进行固定，启动真空泵等装置，将真空度排出到10Pa左右的真空度，然后将等离子体清洁用的气体引入真空室(根据清洁材质的不同，选择的气体也不同，例如O2、H2、Ar、N2等)，将压力保持在100Pa左右的真空度室内的电极和接地装置之间施加高频电压，气体被破坏，通过辉光放电产生离子化，在真空度室内产生的等离子体（完）全复盖清洁部件后，开始清洁作业，清洁环节持续数十秒到数分钟。

下面具体介绍下使用等离子清洗机要注意什么:
1、在开启plasma表面处理设备之前，要做好各种准备工作，首先要对操作的工作人员进行技术方面的培训，让他们能够熟练掌握操作的程序，严格按照操作要求进行使用。
2、在正式使用plasma表面处理设备之前，要对它运行时的参数进行正确的设置，并且要按照仪器的使用说明书去认真的执行操作，不能随意地使用。
3、保护等离子体点火装置，以确保等离子清洗机正常开启，否则会导致开启困难或异常开启。
4、如果对一次风管没有通风的情况下，要保证plasma表面处理设备的发生器的运行时间在规定的时间内，不能大于设备说明书上要求的时间，要不然会把燃烧器破坏掉，从而造成很多不必要的损失。
5、要定期进行维护和保养。维修及保养plasma表面处理设备时，首先要将设备电源关掉，待断电后再进行相应运作，确保不能带电工作，以免发生意外。