在小型等离子清洗机的工作原理中，电容耦合(不锈钢腔)和电感耦合(应时玻璃腔)一直有两个工作原理。这两种工作方法有什么区别？
       容性耦合等离子体是产生容性耦合等离子体最早、应用最广泛的方法，广泛应用于清洗、蚀刻和表面改性。电容耦合等离子体又称电场耦合等离子体。它的产生机制是在低压条件下，在两极板之间施加高频电场，使气体电离，产生稳定的plasma。

       感应耦合是感应线圈中的交流电场，在反应室中耦合感应产生二次电场，在低压下激发等离子体。
       外电极结构易于实现电感耦合等离子体，用于等离子体清洗，可更好地解决极板溅射问题。电感耦合等离子体广泛应用于原子光谱分析。利用ICP光源产生光谱，根据物质的特性分析物质的化学成分、结构和存在。
       典型的外部电极结构是最早的电感耦合结构，其特点是结构简单，无电极污染。但由于二次耦合，耦合效率低，等离子体均匀性差。
       平面耦合线圈可以产生大面积的等离子体。适用于等离子蚀刻、等离子精脱胶等高端要求较高的场合。
       由于电感线圈位于等离子体中，线圈具有良好的耦合性和高效率，但电极浸泡在等离子体中，在电场的作用下被颗粒轰击，线圈的大小会发生变化，电极容易溅射，对清洗或蚀刻的材料有害。当污染发生时，在使用这种结构时，有必要在电感线圈表面包裹一层介电层。由于无线电频率为13.56MHz，波长为22米，因此具有很强的穿透力。
       不锈钢板通常由电容器耦合等离子体清洗机的反应室(真空室)制成。电容板位于真空室。金属盒本身屏蔽效果好，不需要单独考虑屏蔽。
       感应耦合真空室由应时玻璃制成，感应线圈安装在真空等离子体清洗机外。如果不考虑屏蔽，在使用过程中会产生强烈的射频电磁干扰，影响控制系统和其他设备的正常运行。